한국수출입은행(은행장 방문규, 이하 ‘수은’)은 방 행장이 14일 오후 경기도 이천시에 소재한 반도체 특수소재 부품 생산 전문기업 디에스테크노를 방문했다고 밝혔다.

디에스테크노는 첨단 반도체 소자(CHIP)를 생산할 때 사용되는 소모성 부품 제조기업으로, 특수소재인 실리콘카바이드(SiC), 쿼츠(Quartz), 실리콘(Si)을 전문적으로 가공·취급하는 중소기업이다.

특히 이 기업은 화학기상증착법(CVD; Chemical Vapor Desposition)으로 제조된 고강도·고순도 소재인 CVD-SiC를 가공해 식각장비 내 웨이퍼가 흔들리지 않게 고정하는 링 등을 생산한다. CVD란 원하는 물질을 포함하고 있는 원료 가스를 기판 위에 공급해 화학적 반응을 일으켜 증착하는 방법이다.

앞서 수은은 1월 SK하이닉스, 산업은행과 함께 반도체 산업 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업 육성을 위한 1000억원 규모의 반도체 전용 소부장 펀드를 조성하기로 합의한 바 있다.